2017年10月16日，有研半導(dǎo)體材料有限公司在02專項實施管理辦公室指導(dǎo)下，組織專家組對“90nm/300mm 硅片產(chǎn)品競爭力提升與產(chǎn)業(yè)化” 項目及其5個子課題進(jìn)行了任務(wù)和財務(wù)的內(nèi)部驗收。周旗鋼副院長及有研半導(dǎo)體材料有限公司張果虎總經(jīng)理出席驗收會。參會人員還包括用戶代表、項目責(zé)任專家、項目及課題負(fù)責(zé)人、會計師事務(wù)所項目主審、參與項目及課題的主要骨干等。02專項實施管理辦公室許登超主任主持驗收會議。依據(jù)02專項的驗收實施細(xì)則，專家組聽取了承擔(dān)單位的報告和現(xiàn)場測試報告，審查了文檔資料，核實了財務(wù)憑證，進(jìn)行了質(zhì)詢和討論，一致同意通過內(nèi)部驗收。
“90nm/300mm 硅片產(chǎn)品競爭力提升與產(chǎn)業(yè)化”項目針對90nm線寬集成電路要求，以下家考核上家的方式推動攻關(guān)，完成了300mm硅單晶生長技術(shù)、300mm硅片精密加工技術(shù)、300mm硅片外延技術(shù)、材料性能與器件關(guān)系研究以及300mm硅片應(yīng)用評估研究等任務(wù)，并開展55nm線寬集成電路要求的相關(guān)硅片技術(shù)延展攻關(guān)，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的成套300mm硅片技術(shù)，開發(fā)出300mm硅拋光片和300mm硅外延片兩種新產(chǎn)品，實現(xiàn)了300mm硅片的連續(xù)批量銷售，獲得中芯國際、德州儀器等國內(nèi)外知名半導(dǎo)體廠商的認(rèn)證許可，建立了300mm硅片的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊、生產(chǎn)管理團(tuán)隊、市場開拓團(tuán)隊等。
該項目是下家考核上家模式的驗證，填補了國內(nèi)空白，獲得科研成果和市場經(jīng)濟(jì)效應(yīng)的雙豐收，促進(jìn)了項目單位的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)調(diào)整，帶動了現(xiàn)有小尺寸硅片和超大直徑硅單晶的技術(shù)進(jìn)步。項目形成的產(chǎn)品可用于存儲器、邏輯電路等，滲透到智能手機(jī)、計算機(jī)、大數(shù)據(jù)、工業(yè)自動化、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域，具有良好的市場前景。
與會專家指出，項目和各課題很好地完成了指標(biāo)，知識產(chǎn)權(quán)成果豐富，但產(chǎn)業(yè)規(guī)模方面存在遺憾，項目單位是國內(nèi)半導(dǎo)體硅材料標(biāo)桿，面對目前良好的市場機(jī)遇和國家需求，希望繼續(xù)努力，撐起國內(nèi)半導(dǎo)體硅材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展的大旗。